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ExLASER®系列工作測(cè)試可用!激光平面瞬時(shí)加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時(shí)加熱裝置。
特點(diǎn)
可以實(shí)現(xiàn)超高的溫升和降溫
2英寸襯底均勻加熱1次
直接加熱到被加熱物體是可能的
溫度控制適合于過(guò)程
不加熱大氣的節(jié)能
應(yīng)用示例激光平面瞬時(shí)加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器
MBE設(shè)備的基材加熱
晶圓退火(SiC,GaAS等)
多層器件的表面退火是可能的(與小型化器件兼容)
體驗(yàn)的例子
日本原子能研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)
激光輸出:100W
主體尺寸:H251×W200×D253(mm)
激光加熱實(shí)驗(yàn)
EXL-CT-010DS55用于激光加熱放置在真空室中的樣品。從樣品的背面(與激光照射側(cè)相反的一側(cè))測(cè)量溫度分布。
1.藍(lán)寶石基板(φ2英寸)---適用于透明基板
溫度分布

藍(lán)寶石襯底的溫度分布
(激光輸出:1000 W)
快速升溫/降溫

藍(lán)寶石襯底快速升降溫度(平均襯底溫度)
(激光輸出:1000 W)
2.溫度斜坡---使用組合光學(xué)
溫度分布

金屬板溫度分布
(激光輸出:86 W聚光燈)
溫度梯度圖

金屬板的溫度梯度
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范激光平面瞬時(shí)加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器
| 型號(hào):EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射法 | 直接類(lèi)型 | 身材大小 | H 625mm×W 700mm×D 320mm |
| 激光輸出 | *大1千瓦 | 附件 | 專用冷水機(jī)組 |
| 激光波長(zhǎng) | 808nm | 額定 |
身體:1P 200 V 20 A 冷水機(jī):1 P 200 V 15 A |
| 激光形狀 | 一個(gè)正方形 | ||
| 光學(xué)系統(tǒng)(均勻性) | 均質(zhì)機(jī)(±5%) | 備注 |
JST原創(chuàng)造型 開(kāi)發(fā)產(chǎn)品(2005年度) |
| 加熱區(qū) | □55毫米 | ||
| 工作距離 | 400毫米 - | ||







