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特點(diǎn)
支持廣泛的應(yīng)用,具有高分辨率反射激光刻度,信號波長(250 nm)
- 通過保護(hù)全息圖晶格進(jìn)行簡單的維護(hù)
- 通過LED顯示屏輕松確認(rèn)信號
- 寬安裝公差
- 主要應(yīng)用:半導(dǎo)體檢測設(shè)備,精密車床,精密磨床,液晶制造和檢測設(shè)備
規(guī)格
| 主要規(guī)格 | |||
|---|---|---|---|
|
(注)請聯(lián)系我們的銷售辦事處 |
|||
| 型號名稱 | 一 | ^ h | M·P·Y·G |
| 輸出信號 | A / B階段 | 類似物 | 每個(gè)公司系列 |
| 有效長度:(mm) |
30/70/120/170/220/270/320/370/420/470 / 520/570/670/770/870/970/1070/1170/1270/1400 |
||
| 比例總長度 | 有效長度+ 26毫米 | ||
| *大可移動長度 | 有效長度+ 10毫米 | ||
| 光柵間距 | 1.0微米 | ||
| 信號波長 | 0.25微米(250納米) | ||
| *高分辨率 | 0.000625μm(下午625) | - | 0.00005μm(50 pm)(注) |
| 精度(20°C時(shí)) | ±0.5微米(30?170毫米)/±1微米(220?370毫米)/±3微米(420?520毫米)/±5微米(570?970毫米)/±10微米(1070?1400毫米) | ||
| 線性度(20°C時(shí)) | ±3μm(570至1,400 mm) | ||
| 原點(diǎn)位置 | 有效長度1點(diǎn),精度±0.25μm | ||
| 線性膨脹系數(shù) | 0.5×10 -6 /℃(石英玻璃),8×10 -6 /℃(藍(lán)色玻璃板) | ||
| *大響應(yīng)速度 | 見表1 | 1,800毫米/秒 | 1,800 mm / s(注) |
| 電纜長度 | 0.5 / 1米 | ||
| 電源 | + 5 V(±5%) | ||
| 當(dāng)前消費(fèi) | 300 mA(空載)350 mA(120Ω端接) | 280 mA(空載)300 mA(120Ω端接) | |
| 光源 | 半導(dǎo)體激光波長655nm | ||
| 輻射功率 | JIS 2級,DHHS 2級,EN 60825 2級 | ||
| 工作溫度范圍 | +10至+ 40°C(非冷凝) | ||
| 儲存溫度范圍 | -10至+ 50°C | ||
| 表1 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 決議 | *小相位差50 ns | *小相位差為100 ns | ||
| *大響應(yīng)速度(mm / s) | 型號名稱 | *大響應(yīng)速度(mm / s) | 型號名稱 | |
| 0.015625μm(15.625 nm) | 180 | ? | 120 | [R |
| 0.0078125μm(7.8125 nm) | 90 | ? | 58 | 小號 |
| 0.00625微米(6.25納米) | 70 | 大號 | 45 | ? |
| 0.0025μm(2.5 nm) | 27 | 中號 | 18 | ü |
| 0.00125微米(1.25納米) | 14 | ? | 9 | V |
| 0.00078125μm(0.78125 nm) | 9 | P | 5.8 | w ^ |
| 0.000625μm(下午625) | 7 | Q | 4.5 | ? |
|
半導(dǎo)體激光器用于激光刻度。由于激光對人體有害,請不要查看檢測頭部分。 描述內(nèi)容如有更改,恕不另行通知。 |
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